디스플레이 / 반도체 공정용 정밀 이송 스테이지
이송 스테이지 베어링 타입: 공기 베어링
Laser 응용 분야: 강화유리 / 플렉시블 기판 Cutting
· Laser 장비 구성: Cutting Head + Scanner System
초정밀 에어 베어링 Stages
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성능 저하 없는 장시간 구동 가능
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진공 예압 다공질 공기베어링 사용으로 스테이지의 이송 진직도 및 pitch error 최소화
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정밀 레이저 측정으로 Yaw Error 및 이송 진직도 보정
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높은 부하 용량 / 높은 동강성
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초정밀 정밀도 및 반복도Ultra-precision Accuracy and Repeatability
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응용분야 : 반도체, FPD 레이저 제조 공정, 검사 장비, 마이크로 머신닝
초정밀 에어 베어링 Stages
■ SiC 세라믹 기반 스테이지
■ 베어링 / 스케일 / 제진대 타입
- · 베어링: 진공 예압형 Air Bearing System
- · 스케일: Laser Scale
- · 제진대: 능동형 제진대
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SiC 세라믹에 기초한 Stage
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진공과 에어 베어링 시스템의 결합
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레이저 스케일 적용
