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PRODUCT 초정밀 에어 베어링 Stage

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디스플레이 / 반도체 공정용 정밀 이송 스테이지

이송 스테이지 베어링 타입: 공기 베어링

Laser 응용 분야: 강화유리 / 플렉시블 기판 Cutting

· Laser 장비 구성: Cutting Head + Scanner System

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초정밀 에어 베어링 Stages

  • 성능 저하 없는 장시간 구동 가능

  • 진공 예압 다공질 공기베어링 사용으로 스테이지의 이송 진직도 및 pitch error 최소화

  • 정밀 레이저 측정으로 Yaw Error 및 이송 진직도 보정

  • 높은 부하 용량 / 높은 동강성

  • 초정밀 정밀도 및 반복도Ultra-precision Accuracy and Repeatability

  • 응용분야 : 반도체, FPD 레이저 제조 공정, 검사 장비, 마이크로 머신닝

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초정밀 에어 베어링 Stages

 

■ SiC 세라믹 기반 스테이지

■ 베어링 / 스케일 / 제진대 타입

  • · 베어링: 진공 예압형 Air Bearing System
  • · 스케일: Laser Scale
  • · 제진대: 능동형 제진대

제품설명

  • SiC 세라믹에 기초한 Stage

  • 진공과 에어 베어링 시스템의 결합

  • 레이저 스케일 적용

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