FPD STAGE 1
작동 범위 : 모듈 46 "~ 57"(이중 척 스테이지)
가이드 : LM 가이드
적용 모터 : 코어리스 타입 리니어 모터
컨트롤러 : ACS, U-mac, 기타 제어기
주요 특징들
- 탁월한 속도 안정성 : 스캔 동작
- 고 강성 및 안정된 시스템
- 고도의 메커니즘 및 제어 보장
- 효율적인 공간 활용
- 미세 진동을 위한 방진 설계
FPD STAGE 2
작업 영역 : 6 ~ 8 세대
가이드 : LM 가이드
적용 모터: 코어 형 리니어 모터
컨트롤러 : ACS, U-mac, 기타 제어기
주요 특징들
- 탁월한 속도 안정성 보장 : P to P
- 고 강성 및 안정된 시스템
- 높은 수준의 메커니즘 및 제어 성능 보장
- 효율적인 공간 활용
- 미세 진동을 위한 방진 설계
FPD STAGE 3
작업 영역 : 4 ~ 7.5 세대
가이드 : LM 가이드
적용 모터: 코어리스 타입 리니어 모터
컨트롤러 : ACS, U-mac, 기타 제어기
주요 특징들
- 탁월한 속도 안정성 : 스캔 동작
- 고 강성 및 안정된 시스템
- 높은 수준의 메커니즘 및 제어 성능 보장
- 효율적인 공간 활용
- 미세 진동을 위한 방진 설계
FPD STAGE 4
작업 영역 : 4 ~ 7.5 세대
가이드 : LM 가이드
적용 모터 : 코어리스 타입 리니어 모터
컨트롤러 : ACS, U-mac, 기타 제어기
주요 특징들
- 탁월한 속도 안정성 : 스캔 동작
- 고 강성 및 안정된 시스템
- 높은 수준의 메커니즘 및 제어 성능 보장
- 효율적인 공간 활용
- 미세 진동을 위한 방진 설계
