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PRODUCT 에어 플로팅 시스템

The Air Floating System은 압축 공기를 이용하여,
이송물을 공기부상원리를 이용하여 비 접촉 이송 장치

 

Air Floating System의 핵심기술

· 다공질 세라믹 : Office에 대비, 균일한 압력으로 이송물 부상 (기공률, 투과율의 균일함이 필수)
· 대전방지기능 : 정전기에 의한 불량 방지
· 강도 향상 : 굽힘 강도 80 MPa 이상의 다공질 재료

제품이미지

FPD 공정 장비에서의 Air Floating System

제품이미지

다공질 Air Floating System 원리

Advantages of Air Floating

· 기판을 이송시 접촉에 의한 표면 Scratch 예방을 위해 비접촉 이송 장치 Air Floating System 사용
· 기존 흡착 Chuck 사용시 Chuck의 평탄도 및 열불균형에 의해 발생하는 Mura Defect 예방

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Figure2. <a>Cluster Mura; <b>Vertical Band Mura 
            <c>Rubbing Mura; <d>Light Leak Mura

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Mura Defect의 예

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Porous Ceramic Floating System

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Orifice Type Floating System

제품이미지

 

Air Floating Stage

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