연구개발기간연구개발명

/ 연구개발명

2007.05.01 ~ 2008.04.30

고속 회전체를 이용한 초미세액적 분사기

2008.08.01 ~ 2010.07.31

반도체 공정장비용 초정밀 위치제어 내환경성 Linear Motion Unit 개발

2010.06.01 ~ 2012.05.31

LCD/LED Glass 고속검사용 그린형 고정도 에어플로팅 시스템 개발

2011.09.01 ~ 2014.08.31

1Xnm/2Xnm급 반도체 공정 개발과 양산수율 향상을 위한 E-beam을 이용한 패턴 미세 오정렬(Overlay) 측정장치의 개발

2012.06.01 ~ 2015.04.30

LCD 노광장치용 저반사율 세라믹 핀척(Pin Chuck) 개발

2013.05.01 ~ 2015.04.30

외고정법을 이용한 골절정복 수술지원 로봇시스템 개발

2015.05.01 ~ 2017.04.30

5세대급 이상의 박판형 글라스 이송을 위한 붐(BOOM)의 교차 기능을 적용시킨 3,000mm 이상의 장축형 이송 및 적재 로봇 응용기술 개발

2016. 07. 01 ~

초저가 제조로봇용 구동·센싱모듈 및 시스템 기술개발 (Development of low-cost industrial robot systems with low-cost actuator and sensing modules)

2017. 03. 01 ~

OLED 공정용 정밀 Air Floating 핵심 부품 개발 (Development of Precision Air Floating Key Component for OLED Process)