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PRODUCT Vacuum chuck

저항제어 다공질 세라믹 제조기술

저항제어 다공질 세라믹 진공척 제조기술

세라믹을 이용한 부품화 기술

대전방지 다공질 세라믹(Anti-static Porous Ceramic) 특허 등록번호 10-1692219

· 기공크기(1~20µm)와 기공율(10~48%)을 조절하여 디스플레이/반도체 공정에 사용되는 Air Bearing

Ceramic Air Bearing and Ceramic Chuck

균질한 기공분포로 인해 고정밀 부상과 흡착이 가능

정밀부상시 기판의 흔들림은 5µm 미만임

고온 소결체로 Particle issue 없음

organization

FPD공정 대전방지 세라믹 진공척 적용 예

제품이미지

㈜트리엔은 다공질 세라믹 원료 배합 및 제조 / 응용 역량을 보유하고 있습니다.

반도체 장비용 세라믹 Chuck 적용 예

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