저항제어 다공질 세라믹 제조기술

저항제어 다공질 세라믹 진공척 제조기술

세라믹을 이용한 부품화 기술

대전방지 다공질 세라믹(Anti-static Porous Ceramic) 특허 등록번호 10-1692219

· 기공크기(1~20µm)와 기공율(10~48%)을 조절하여 디스플레이/반도체 공정에 사용되는 Air Bearing

Ceramic Air Bearing and Ceramic Chuck

균질한 기공분포로 인해 고정밀 부상과 흡착이 가능

정밀부상시 기판의 흔들림은 5µm 미만임

고온 소결체로 Particle issue 없음